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半导体器件扩散炉 能耗分等

标准
标准编号:JB/T 5630-1991 标准状态:已废止
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了半导体器件扩散炉(以下简称扩散炉)能耗分等。
本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。
标准状态:  已废止
什么是替代情况? 替代情况:  公告:中华人民共和国工业和信息化部公告 2017年(第23号)
什么是中标分类? 中标分类:  机械>>机械综合>>J01技术管理
发布部门:  机械电子工业部
发布日期:  1991-09-13
实施日期:  1992-07-01
作废日期:  2017-05-12
提出单位:  机械电子工业部生产司
什么是归口单位? 归口单位:  机械电子工业部机械标准化研究所
起草单位:  国营七○○厂
起草人:  钱祖权、黄淑敏
页数:  4 页
出版社:  机械工业出版社
出版日期:  1992-07-01
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