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掺氮吸气剂钡膜分布测试方法
标准编号:
GB 9506.6-1988
标准状态:
已作废
标准价格:
8.0
元
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标准简介
本标准规定了掺氮吸气剂钡膜分布测试方法,适用于测定沉积在模拟玻壳颈、锥、屏上钡膜的重量分布和锥、屏上钡膜的厚度分布。测试方法应符合GB 9506.1《吸气剂性能测试方法通则》中的有关规定。
英文名称:
Test method for barium film distribution of nitrogen-doped getter
标准状态:
已作废
替代情况:
SJ 2162-1982
;被GB/T 25495-2010代替
中标分类:
电子元器件与信息技术
>>
电子设备专用材料、零件、结构件
>>
L90电子技术专用材料
ICS分类:
31.030
发布部门:
国家标准化管理委员会
发布日期:
1988-06-25
实施日期:
1988-01-02
作废日期:
2011-05-01
首发日期:
1988-06-25
复审日期:
2004-10-14
归口单位:
全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:
国家标准化管理委员会
起草单位:
电子部741厂
页数:
5页
出版社:
中国标准出版社
出版日期:
1988-01-02
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