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异质外延氮化镓外延层厚度测试 白光干涉法

国家标准
标准编号:T/CSA 102-2025 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件描述了使用白光干涉法测试异质外延单一结构的氮化镓外延层厚度的原理、试验条件、仪器设备、样品、试验步骤、试验数据处理、精密度,以及试验报告。
本文件适用于异质外延氮化镓外延层厚度(范围为11 μm至43 μm)的测试。AlN、InN、AlGaN和InGaN在异质外延上的单一结构膜层厚度的测试也可参照本文件执行。
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>半金属与半导体材料>>H83化合物半导体材料
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>半导体器件>>31.080.99其他半导体器件
发布部门:  中关村半导体照明工程研发及产业联盟
发布日期:  2025-10-30
实施日期:  2025-10-30
提出单位:  中关村半导体照明工程研发及产业联盟(国家半导体照明工程研发及产业联盟)
什么是归口单位? 归口单位:  中关村半导体照明工程研发及产业联盟(国家半导体照明工程研发及产业联盟)
起草单位:  北京大学东莞光电研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、广东省东莞市质量监督监测中心、深圳民爆光电股份有限公司、北京大学、中国科学院半导体研究所、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、南京大学、京东方华灿光电(浙江)有限公司等
起草人:  刘强、吴载炎、丁晓民、庄文荣、李本亮、顾慧慧、颜建锋、康香宁、刘志彬、苏旭军、修向前、朱广敏、孙昕、肖飞晨
出版社:  中国标准出版社
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