集成电路用气体 氯气 |
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| 标准编号：T/ICMTIA ESG0025-2022 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：31.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了集成电路用氯气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存以及安全。
本文件适用于集成电路制造过程中使用的氯气。 |
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 ICS分类： |
综合、术语学、标准化、文献>>01.020术语学(原则和协调配合) |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2022-05-10 |
| 实施日期： |
2022-05-31
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| 提出单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 归口单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位： |
中巨芯科技股份有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司、TCL华星光电技术有限公司 |
| 起草人： |
陈刚、张学良、贺辉龙、张广第、徐聪、宁海水、张雪刚、陈林、朱智敏、赵晓亚、王宁、陈晓平、柳彤、郑秋艳、黄晶、王立、代大全、傅俊、夏琳 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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