集成电路用聚氨酯 类化学机械抛光垫 |
 |
| 标准编号：T/ICMTIA CMP0037-2023 |
标准状态：现行 |
|
| 标准价格：31.0 元 |
客户评分：  |
|
|
立即购买工即可享受本标准状态变更提醒服务！ |
|
|
|
|
|
本文件规定了集成电路用聚氨酯类化学机械抛光垫（以下简称“抛光垫”）的分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存的要求。
本文件适用于集成电路制造过程中晶圆化学机械平坦化处理所使用的聚氨酯抛光垫。 |
|
|
|
 ICS分类： |
31-030 |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2023-03-01 |
| 实施日期： |
2023-04-01
|
| 提出单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 归口单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟、湖北鼎汇微电子材料有限公司、宁波赢 伟泰科新材料有限公司 |
| 起草人： |
王大方、梅黎黎、黄云鹏、潘唯、相红旗、李依琪、施建国 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
|
|
|
|
| |
|
客服中心 |
| 有问题？找在线客服 |
 |
|
|
|
|
温馨提示：标准更新替换较快，请注意您购买的标准时效性。 |
|
|
|
|
| 必备软件下载 |
| Adobe Acrobat Reader 是一个查看、
阅读和打印PDF文件的最佳工具，通
过它可以查阅本站的标准文档 |
 |
|
|
|