集成电路用四氯化钛中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
 |
| 标准编号：T/ICMTIA ESG0039-2024 |
标准状态：现行 |
|
| 标准价格：29.0 元 |
客户评分：  |
|
|
立即购买工即可享受本标准状态变更提醒服务！ |
|
|
|
|
|
本文件规定了四氯化钛中Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、As、Sr、Mo、Ag、Cd、Sn、Sb、Ba、Au、Pb、Bi、U等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。
本文件适用于四氯化钛中Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、As、Sr、Mo、Ag、Cd、Sn、Sb、Ba、Au、Pb、Bi、U等元素含量的测定。各元素的测定范围0.1ng/g～50ng/g。 |
|
|
|
| 英文名称： |
Test method for measurement of impurity concentrations in titanium tetrachloride for integrated circuit by Inductively coupled-plasma Mass Spectrometry |
 ICS分类： |
31-030 |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2024-04-30 |
| 实施日期： |
2024-06-01
|
| 提出单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 归口单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位： |
洛阳中硅高科技有限公司、北矿检测技术股份有限公司、南大光电半导体材料有 限公司、威顿晶磷电子材料股份有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家地质实验测试中心、硅基 材料国家工程研中心 |
| 起草人： |
万烨、赵雄、徐家扬、曹俊英、姜士兵、蒯丽君、陈得义、祝飘、聂兰建、赵 令浩、郭树虎、严大洲、常欣、刘见华、张园园、梁君 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
|
|
|
|
| |