半导体设备用全氟醚橡胶密封制品 |
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| 标准编号：T/CASME 1953-2025 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：29.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。
本文件适用于工作温度范围为-45℃～320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。 |
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| 英文名称： |
Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment |
 中标分类： |
化工>>橡胶制品及其辅助材料>>G43橡胶密封件 |
| ICS分类： |
橡胶和塑料工业>>橡胶和塑料制品>>83.140.50密封件 |
| 发布部门： |
中国中小商业企业协会 |
| 发布日期： |
2025-03-21 |
| 实施日期： |
2025-04-21
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| 提出单位： |
江苏多肯新材料有限公司 |
| 归口单位： |
中国中小商业企业协会 |
| 起草单位： |
江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司 |
| 起草人： |
刘韬、徐丹、刘雪莲 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件由江苏多肯新材料有限公司提出。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国中小商业企业协会归口。
本文件起草单位:江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司。
本文件主要起草人:刘韬、徐丹、刘雪莲。 |
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