电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法 |
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| 标准编号：YS/T 1740-2025 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：0.0 元 |
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本文件规定了用化学气相沉积法制备电子级三氯氢硅的评价样棒，并通过检测评价样棒的导电类型、电阻率、碳、施主和受主杂质含量来表征电子级三氯氢硅质量的规程。
本文件适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价。 |
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| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2025-04-10 |
| 实施日期： |
2025-11-01
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| 出版社： |
冶金工业出版社 |
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