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半导体晶圆加工用激光切割机

国家标准
标准编号:T/CASME 1853-2024 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件规定了半导体晶圆加工用激光切割机的设备构成、型号命名与主要参数、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于半导体晶圆加工用激光切割机的设计和制造。
英文名称:  Laser cutting machines for semiconductor wafer processing
什么是中标分类? 中标分类:  机械>>金属切削机床>>J59特种加工机床
什么是ICS分类?  ICS分类:  机械制造>>机床装置>>25.060.99其他机床装置
发布部门:  中国中小商业企业协会
发布日期:  2024-12-25
实施日期:  2024-12-31
提出单位:  中国中小商业企业协会
什么是归口单位? 归口单位:  中国中小商业企业协会
起草单位:  常州心匠智能装备有限公司、安徽百超激光科技有限公司、河海大学、蒂业技凯(常州)精工有限公司、常州科泽机电有限公司、常州工学院、苏州北科纳米科技有限公司、江苏省航空航天新材料产业计量中心、中国机械总院集团江苏分院有限公司、江苏大学、江苏工程职业技术学院等
起草人:  夏任波、李威、陈兴、孔宪强、史建成、谢银、夏健波、苏叶明、张伟、姬胜杰、徐雷钧、肖晖、阚鑫锋、何青、刘伟、陈建锋、吴建钊、恽烨、王云龙
出版社:  中国标准出版社
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