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英文名称: |
Nanotechnologies—Characterization of micro surface and sub surface—Optical dark-field confocal microscopy |
标准状态: |
即将实施 |
中标分类: |
仪器、仪表>>物质成分分析仪器与环境监测仪器>>N51物性分析仪器 |
ICS分类: |
计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.30测量仪器仪表 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2024-12-31 |
实施日期: |
2025-07-01
即将实施 距离实施日期还有153天 |
提出单位: |
中国科学院 |
归口单位: |
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279) |
起草单位: |
哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院、昆明物理研究所、西安应用光学研究所、北京微电子技术研究所、航天科工防御技术研究试验中心 |
起草人: |
刘俭、施玉书、刘辰光、张树、胡旭、张云龙、李冬梅、冯慧 |
页数: |
24页 |
出版社: |
中国标准出版社 |