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微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

国家标准
标准编号:GB/T 43748-2024 标准状态:现行
标准价格:38.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件规定了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜(TEM/STEM)测定集成电路芯片中功能薄膜层厚度的方法。本文件适用于测定几个纳米以上厚度的集成电路芯片中功能薄膜层。
英文名称:  Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
什么是中标分类? 中标分类:  仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>分析化学>>71.040.50物理化学分析方
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2024-03-15
实施日期:  2024-10-01
提出单位:  全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
什么是归口单位? 归口单位:  全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
起草单位:  广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米(苏州)股份有限公司
起草人:  伍超群、于洪宇、乔明胜、陈文龙、周鹏、邱杨、黄晋华、汪青、程鑫
页数:  16页【彩图】
出版社:  中国标准出版社
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