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英文名称: |
Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips |
中标分类: |
仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器 |
ICS分类: |
化工技术>>分析化学>>71.040.50物理化学分析方 |
发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2024-03-15 |
实施日期: |
2024-10-01
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提出单位: |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
归口单位: |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
起草单位: |
广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米(苏州)股份有限公司 |
起草人: |
伍超群、于洪宇、乔明胜、陈文龙、周鹏、邱杨、黄晋华、汪青、程鑫 |
页数: |
16页【彩图】 |
出版社: |
中国标准出版社 |