晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式 PECVD 设备 |
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| 标准编号：SJ/T 11829.1-2022 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：0.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
本文件适用于晶体硅光伏电池用管式 PECVD 设备，产品主要用于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化。 |
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| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2022-09-30 |
| 实施日期： |
2023-01-01
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