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半导体单晶硅生长用石英坩埚

国家标准
标准编号:T/CEMIA 023-2021 标准状态:现行
标准价格:18.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义,规定了规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。
本文件适用于以高纯石英砂(成分:二氧化硅)为原料,采用电弧熔融法生产,用于半导体单晶硅生长的石英坩埚。
英文名称:  Quartz crucible for semiconductor monosilicon growth
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
什么是ICS分类?  ICS分类:  电气工程>>29.045半导体材料
发布部门:  中国电子材料行业协会
发布日期:  2021-07-15
实施日期:  2021-12-25
提出单位:  中国电子材料行业协会
什么是归口单位? 归口单位:  中国电子材料行业协会
起草单位:  内蒙古欧晶科技股份有限公司、锦州佑鑫石英科技有限公司、江西中昱新材料科技有限公司
起草人:  何文兵、陈曼、苏光都、杜兴林、李宗辉、王文庆、朱旦、李晓航、朱剑、徐晓军、王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2021-08-01
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