集成电路用高纯钛溅射靶材 |
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| 标准编号：T/ZZB 0093-2016 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：0.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了集成电路用高纯钛溅射靶材的术语、定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量承诺和服务保证。
本标准适用于集成电路中制造电子薄膜用的各类钛溅射靶材。 |
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| 英文名称： |
High-purity sputtering titanium target used in integrated circuit |
 中标分类： |
冶金>>有色金属及其合金产品>>H64稀有轻金属及其合金 |
| 发布日期： |
2016-09-10 |
| 起草单位： |
宁波创润新材料有限公司;宁波江丰电子材料股份有限公司 |
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