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电子级三乙基镓

国家标准
标准编号:GB/T 36656-2018 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了三乙基镓的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、储存和安全。
本标准适用于镓镁合金法、三氯化镓法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三乙基镓。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
英文名称:  Electronic grade triethylgallium
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2018-09-17
实施日期:  2019-01-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
主管部门:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
起草单位:  江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人:  陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2018-09-01
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