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光掩模石英玻璃基板

国家标准
标准编号:GB/T 34178-2017 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了光掩模石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二级管(LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
英文名称:  Silica glass substrates for photomask
什么是中标分类? 中标分类:  建材>>陶瓷、玻璃>>Q35石英玻璃
什么是ICS分类?  ICS分类:  玻璃和陶瓷工业>>玻璃>>81.040.30玻璃产品
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2017-09-07
实施日期:  2018-08-01
提出单位:  中国建筑材料联合会
什么是归口单位? 归口单位:  全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位:  中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心
起草人:  吴洁、王京侠、王友军、李弋舟、花宁、刘焕敏、肖颂华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、杨学东、孔敏、张应语
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
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石英玻璃相关标准 第1页 第2页 
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 GB/T 42800-2023 高纯不透明石英玻璃
 GB 5949-1986 透明石英玻璃气泡、气线检验方法
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 GB 9657-1988 半导体用透明石英玻璃管
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玻璃产品相关标准 第1页 第2页 
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 GB/T 34561-2017 光伏玻璃 湿热大气环境自然曝露试验方法及性能评价
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