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电子行业标准(SJ)
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3180型溅射台完好要求和检查评定方法
标准编号：
SJ/T 31066-1994
标准状态：
已废止
标准价格：
8.0
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标准简介
标准状态：
已废止
中标分类：
电子元器件与信息技术
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电子工业生产设备
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L97加工专用设备
实施日期：
1997-01-01
作废日期：
2010-01-20
页数：
3页
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