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| 英文名称： |
Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride |
 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2015-12-31 |
| 实施日期： |
2016-07-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 主管部门： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司 |
| 起草人： |
郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨任、周鹏云 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2016-07-01 |