X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南 |
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| 标准编号：GB/T 31472-2015 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：31.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了 X射线光电子能谱(XPS)的荷电控制和荷电基准技术。
本标准适用于 XPS荷电控制和荷电定位技术,不适用于其他电子激发系统。 |
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| 英文名称： |
Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy |
 中标分类： |
仪器、仪表>>电工仪器仪表>>N26综合测试系统 |
| ICS分类： |
计量学和测量、物理现象>>电学、磁学、电和磁的测量>>17.220.20电和磁量值的测量 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2015-05-15 |
| 实施日期： |
2016-01-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203) |
| 起草单位： |
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司 |
| 起草人： |
李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2016-01-01 |
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本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。
本标准主要起草人:李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔。 |
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