扫描探针显微镜漂移速率测量方法 |
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| 标准编号：GB/T 29190-2012 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：38.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了SPM 漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM 扫描图像的漂移速率测量基本方法。
本标准适用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。 |
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| 英文名称： |
Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope |
 中标分类： |
综合>>计量>>A60光学计量 |
| ICS分类： |
计量学和测量、物理现象>>光学和光学测量>>17.180.99有关光学和光学测量的其他标准 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2012-12-31 |
| 实施日期： |
2013-06-01
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| 提出单位： |
中国科学院 |
| 归口单位： |
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。 |
| 起草单位： |
中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院 |
| 起草人： |
黄文浩、陈宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛顿、朱五林、刘一 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2013-06-01 |
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由中国科学院提出并归口。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
本标准起草单位:中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院。
本标准主要起草人:黄文浩、陈宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛顿、朱五林、刘一。 |
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前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义、缩略语 1
4 测量方法 2
5 要求 2
5.1 仪器要求 2
5.2 环境要求 2
6 测量步骤 2
7 测量报告 3
附录A (规范性附录) 图像相关分析法 4
附录B(规范性附录) 特征点法 7
附录C (规范性附录) 非周期光栅法 9
附录D (资料性附录) 原子光栅法 12
附录E (资料性附录) 测量方法比较 14
参考文献 15 |
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下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T15000.3 标准样品工作导则(3) 标准样品 定值的一般原则和统计方法;
JJF1001 通用计量术语及定义;
JJF1059 测量不确定度评定与表示(ISOGUM:1995,IDT);
ISO18115 表面化学分析 名词,第2 部分:扫描探针显微镜适用术语(Surfacechemicalanalysis—Vocabulary—Part2:Termsusedinscanning—probemicroscopy)。 |
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