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利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

国家标准
标准编号:GB/T 27760-2011 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。
本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。
本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
英文名称:  Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic step
什么是中标分类? 中标分类:  仪器、仪表>>仪器、仪表综合>>N04基础标准与通用方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  试验>>19.020试验条件和规程综合
什么是采标情况? 采标情况:  ASTM E 2530:2006 MOD
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2011-12-30
实施日期:  2012-05-01
首发日期:  2011-12-30
提出单位:  中国科学院
什么是归口单位? 归口单位:  全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
主管部门:  全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
起草单位:  国家纳米科学中心
起草人:  朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2012-05-01
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前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准与ASTM E2530—2006《利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》(英文版)技术内容基本一致。
考虑到我国国情,在采用ASTM E2530—2006时,本标准做了一些修改,有关技术性差异已编入正文中。附录A(规范性附录)中给出样品制备方法,附录B(资料性附录)中列出了本标准章条编号与ASTM E2530—2006章条编号的对照一览表,附录C(资料性附录)中给出了技术性差异及其原因一览表以供参考。
本标准由中国科学院提出。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
本标准起草单位:国家纳米科学中心。
本标准主要起草人:朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁。
引用标准
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ISO25178-6:2010 产品几何量技术规范(GPS)表面结构 区域法 第6部分:表面结构测量方法分类(Geometricalproductsspecification—Surfacetexture:Areal—Part6:Classificationofmethods formeasuringsurfacetexture)
ISO/IECGuide98-3:2008 测量不确定度表示指南(Uncertaintyofmeasurement—Part3:Guide totheexpressionofuncertaintyinmeasurement)
ISO/TS21748:2004 测量不确定度评估的重复性、再现性和准确度评估的使用指南(Guidance fortheuseofrepeatability,reproducibilityandtruenessestimatesinmeasurementuncertaintyestimation)

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