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电子行业标准(SJ)
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硅片显影设备通用技术条件
标准编号：
SJ 3194-1989
标准状态：
已作废
标准价格：
14.0
元
客户评分：
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标准简介
英文名称：
General specification for developing equipment for silican slices
标准状态：
已作废
替代情况：
被
SJ/T 11184-98
代替
中标分类：
电子元器件与信息技术
>>
电子工业生产设备
>>
L97加工专用设备
实施日期：
1987-10-01
页数：
8页
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