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硅单晶微缺陷的化学腐蚀检验方法

国家标准
标准编号:GB 4057-1983 标准状态:已作废
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准行之有效用于电阻率10-1~104Ω.cm的硅单晶。
英文名称:  Singie crystal sllicon-Detection of microdefects-Chemical etching technique
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  GB/T 1554-1995代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H25金属化学性能试验方法
什么是UDC分类?  UDC分类:  669.782;548.55;620.193.4
发布日期:  1983-12-20
实施日期:  1984-12-01
起草单位:  峨眉半导体材料研究所
页数:  3页
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