低压化学气相淀积设备通用技术条件 |
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| 标准编号：SJ/T 10311-1992 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：15.0 元 |
客户评分：  |
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| 英文名称： |
Generic specification of low pressure chemical vapor Deposition system |
 中标分类： |
医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理 |
| 发布日期： |
1992-06-15 |
| 实施日期： |
1992-12-01
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| 页数： |
11页 |
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