1 |
XH-KDY-1BS 型四探针电阻率测试仪
|
|
1、 配有双数字表: 一块数字表在测量显示硅片电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全过程中的电流变化,使操作更简便,测量更精确。
数字电压表量程:0—199.99mV
灵敏度:10μV
输入阻抗:1000ΜΩ
基本误差±(0.04-0.05%读数+0.01%满度)
2、
可测电阻率范围:10—4 —1.9×104Ω•cm
可测方块电阻范围:10—3 —1.9×105Ω/□。
3、 设有电压表自动复零功能,当四探针头1、4 探针间未有测量电流流过时,电压表指零,只有1、4 探针接触到硅片,测量电流渡过单晶时,电压表才指示2、3 探针间的电压(即电阻率)值,避免空间杂散电波对测量的干扰。
4、 流经硅料的测量电流由高度稳定(万分之五精度)的特制恒流源提供,不受气候条件的影响,整机测量精度<3%。电流量程分五档:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、 仪器采用触点电阻更低(<5mΩ)、使用寿命更长的转换开头及继电器(>10 万次),在绝缘电阻、电流容量方面留有更大的安全系数,提高了测试仪的可靠性和使用寿命。
6、 加配软件配电脑使用,实现自动换向测量、求平均值,计算并打印电阻率最大值、最小值、最大百分变化率、平均百分变化率等内容。
7、 四探针头采用国际上先进的红宝石轴套导向结构,使探针的游移率减小,测量重复性提高(国家知识产权局已于2005.02.02 授予专利权,专利号:ZL03274755.1)。
|
|
|
|
|
|
|
|